Z1軸(檢出器) 800 μm
量測範圍 80μm
8μm
檢出器測定方法 差動感應
檢出器解析度 0.01/800μm
0.001/80μm
0.0001/8μm
檢出器測針尖端 -1：60°、半徑2μm
-2：90°、半徑5μm
檢出器測定壓力 -1：0.75mN
-2：4mN
X軸驅動部 0.02~5mm/s
量測速度
X軸驅動部 0~80mm/s、手動
移動速度
X軸驅動部解析度 0.05μm
Z2軸移動速度 0~20mm/s、手動
Z2軸解析度 1μm
粗度規格 JIS1982 / JIS1994 / JIS2001 / ISO1997 / ANSI / VDA
參數
Ra、Rq、Sk、Ku、Rp、Rv、Ry、RyDIN、RzDIN、Rt、Rc、Rz、R3z、R3t、S、△a、△q、λa、λq、Lo、lr、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2、Sm、Pc、HSC、mr、mrd、σc、Vo、Rx、AR、R、NR、NCRX、CPM、SR、SAR、Wx、AW、Wte、NW、SW、SAW
評估曲線 原始曲線、粗度曲線、封包殘餘曲線、濾波波紋曲線、頻帶曲線、波紋曲線、滾圓波紋曲線、粗度MOTIF、波紋MOTIF、DIN4776曲線
圖形 振福分佈圖、BAC1、BAC2、能量波譜曲線、自動相關曲線、傾斜角度分佈曲線、峰值分佈曲線、參數分佈曲線
資料補正 傾斜補正、R面補正、橢圓補正、拋物線補正、雙曲螺線補正、多項式曲線補正、圓錐自動補正、多項式曲線自動補正
數位濾波器 高斯濾波器、2CRPC75、2CRPC75、2CR75、2CR50、robust spline濾波器
擷取長度 λc(mm)：0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25、80、任意
λs(μm)：0.8、2.5、8、25、80、250、800、0.25、任意
語言 繁體中文、簡體中文、日文、英文、德文、法文、義大利文、西班牙文、波蘭文、匈牙利文、瑞典文、捷克文、韓文、土耳其文、葡萄牙文
電裝部重量 14kg
控制盒重量0.9kg