粗度部分：
Z1軸(檢出器) 800 μm
量測範圍 80μm
8μm
檢出器測定方法 差動感應
檢出器解析度 0.01/800μm
0.001/80μm
0.0001/8μm
檢出器測針尖端 -1：60°、半徑2μm
-2：:90°、半徑5μm
檢出器測定壓力 -1：0.75mN
-2：4mN
X軸驅動部 0.02~5mm/s
量測速度
X軸驅動部 0~80mm/s、手動
移動速度
X軸驅動部解析度 0.05μm
Z2軸移動速度 0~20mm/s、手動
Z2軸解析度 1μm
粗度規格 JIS1982 / JIS1994 / JIS2001 / ISO1997 / ANSI / VDA
參數
Ra、Rq、Rsk、Rku、Rp、Rv、Rz、Rt、Rc、RSm、R△q、Rm(rC)、Rmr、Rσc、Ry、RyDIN、RzDIN、R3y、R3z、Pa、Pq、Psk、Pku、Rp、Rv、Pz、Pt、Pc、PSm、P△q、Pm(rC)、Rmr、Rσc、Wa、Wq、Wsk、Wku、Wp、Wv、Wz、Wt、Wc、WSm、W△q、Wm(rC)、Wmr、Wσc、Wx、AW、W、Wte、S、HSC、Lo、Ir、△a、λa、、λq、Vo、Htp、NR、NCRX、CPM、SR、SAR、NW、SW、SAW
評估曲線 原始曲線、粗度曲線、封包殘餘曲線、濾波波紋曲線、頻帶曲線、波紋曲線、滾圓波紋曲線、粗度MOTIF、波紋MOTIF、DIN4776曲線
圖形 振福分佈圖、BAC1、BAC2、能量波譜曲線、自動相關曲線、傾斜角度分佈曲線、峰值分佈曲線、參數分佈曲線
資料補正 傾斜補正、R面補正、橢圓補正、拋物線補正、雙曲螺線補正、多項式曲線補正、圓錐自動補正、多項式曲線自動補正
數位濾波器 高斯濾波器、2CRPC75、2CRPC75、2CR75、2CR50、robust spline濾波器
擷取長度 λc(mm)：0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8、25、80、任意
λs(μm)：0.8、2.5、8、25、80、250、800、0.25、任意
輪廓部分：
一、測定範圍
Z1軸 60mm（水平狀態±30mm）
二、檢出器（Z1軸）
測長裝置 圓弧光學尺
測針作動 圓弧上下運動
測定方向 拉、推兩種方向
測定面方向 上、下兩種方向（單獨測定）
量測壓力 10、20、30、40、50mN（使用軟體Formtracepak設定）
測針角度限制 上升：77°、下降：83°（使用標準附屬品的片角測針時）依工件表面性質而定
三、驅動部
測長裝置 X軸：分離式線性規
Z2軸（立柱）：ABS光學尺
解析度 X軸：0.05μm
Z2軸（立柱）：1μm
驅動速度 X軸：0~80mm/s、手動操作
Z2軸（立柱）：0~30mm/s、手動操作
測定速度 X軸：0.02~5mm/s
傾斜角度 ±45°