規格
X軸量測範圍 100mm
Z1軸量測範圍 50mm
X軸指示精度（20°C）(2.5+2L/100)μm
Z1軸指示精度（20°C）±(2.5+∣0.1H∣)μm
X軸線性精度 2.5μm/100mm
X軸、Z1軸解析度 0.1μm
驅動方式X軸 電動(0~20mm/s)
量測速度 0.02~0.5mm/s
量測壓力 30±10mN(水平方向、標準測定臂)
測針角度限制 上升：77°、下降：87°
量測方向 推、拉(朝驅動部)
量測時測針方向 向下
X軸操作 電動、手動控制鈕
基座尺寸 600mm*450mm
基座材質 花崗岩
外部尺寸 651mm*143mm*138.5mm
重量 5.8kg